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| 密封性半导体分立器件内部气氛控制技术 | |
| 作者姓名： | 侯利虎 行晓曦 王维乐 封楠 肖晓军 |
| 作者单位： | 西安卫光科技有限公司; |
| 摘 要： | 本文从器件内部气氛的组成、国内行业普遍存在的问题和气氛控制技术几大方面，对器件内部气氛控制方法进行论述，寻求行之有效的方法，提高产品的可靠性。 |
| 关 键 词： | 半导体分立器件 内部气氛 控制措施 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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