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向上发展——微芯片腾飞的新方向

引用本文：	ThomasH.Lee 刘山岷.向上发展——微芯片腾飞的新方向[J].科学中国,2002(4):59-66.

作者姓名：	ThomasH.Lee 刘山岷

摘要：
关键词：	微型芯片水平制造垂直制造三维芯片摩尔定律
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