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薄膜和电子回旋共振镀膜技术
引用本文：宁兆元,任兆杏.薄膜和电子回旋共振镀膜技术[J].百科知识,1990(12):52-53.
作者姓名：宁兆元  任兆杏
摘    要：
关 键 词：薄膜  电子回旋共振  镀膜技术
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