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| 超纯水也是毒药 | |
| 引用本文： | 秦湖.超纯水也是毒药[J].发明与创新,2015(3):58. |
| 作者姓名： | 秦湖 |
| 摘 要： | 美国IBM公司半导体制造工厂一直在加工一种纯净水,每天200万加仑,从不停歇。因为,如果没有这种纯净水,他们就无法制造微芯片。他们称这种水为"超纯水",因为它比自来水干净一千万倍,纯净到几乎没有任何杂质。生产"超纯水"共有18道工序。其中,最主要的是第6道工序:逆渗透,即高密 |
| 关 键 词： | 超纯水 逆渗透 微芯片 半导体制造 它比 滤床 伯利纳 滤出 工业溶剂 伯灵顿 |
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