场致发射显微分析综合系统

场致发射显微分析术是基于量子隧道效应工作的显微分析术。自问世以来,在它发展的各个阶段,均为当时分辨率最高的显微分析工具。由于它结构简单,分辨率高,直接给出表面原子在正空间的图象,成为研究分析固体表面界面和微观结构的有力工具,受到各发达国家的充分重视。本文简单地回顾和介绍了该技术的发展历史和当前的发展概况,并重点介绍了我们在国家科学基金委员会等部门的资助下研制的“场致发射显微分析综合系统”和运用它所取得的初步成果。