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| 微电子机械系统（MEMS）技术及其应用 | |
| 作者姓名： | 李文望 |
| 作者单位： | 鹭江职业大学机械系，福建厦门361005 |
| 摘 要： | 本阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态，微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 应用 MEMS 技术特点 加工工艺 发展前景 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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