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DMOS器件及工艺的研究与分析

作者姓名：	张相飞周芝梅王永刚万勇

作者单位：	国网思极紫光(青岛)微电子科技有限公司

摘要：	本文介绍了DMOS器件的基本知识,包括DMOS的基本工艺及类型,介绍了实际工艺中的DMOS结构及参数。
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