微波表面波PECVD法改善PET包装瓶阻隔性能研究

本文介绍了采用微波表面波等离子体化学气相沉积(MW Surface-wave PECVD)的方法,在PET包装瓶内壁沉积一层类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜,以改善其阻隔性能。实验过程中以乙炔(C2H2)作为原料、氩气(Ar)作为放电气体沉积DLC薄膜,并采用傅立叶红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(Raman Spectra)等仪器辅助分析薄膜的结构、成分,通过测试PET瓶的氧气透过率(OTR)表征其阻隔性能。实验结果表明:采用微波表面波PECVD法在PET包装瓶内沉积纳米级厚度的DLC薄膜可以大大改善PET瓶的阻隔性能,分析结果还显示薄膜的主要成分为碳、氢,结构主要是以无定形的形式存在。