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| 开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨 | |
| 作者单位： | ;1.上海交通大学先进电子材料与器件校级平台 |
| 摘 要： | 大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。 |
| 关 键 词： | 微纳加工平台 开放式平台 管理模式 |
Exploration on open management model of semiconductor micro-nano processing platform |
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