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| 基于氧化石墨烯的ST-cut声表面波高性能湿度传感器 | |
| 作者单位： | ;1.电子科技大学电子科学与工程学院;2.电子科技大学物理学院 |
| 摘 要： | 开发了氧化石墨烯(GO)涂覆的ST-cut石英声表面波(SAW)湿度传感器。SEM和FTIR研究发现GO表面呈现起伏褶皱状且含有亲水性基团,这有利于薄膜对水分子的吸附;还发现SAW湿度传感器的频移响应由质量负载效应提供,且高湿度下传感器频移的指数增加归因于水凝结引起的阻尼效应。该传感器具有良好的灵敏度、几乎为零的温度系数、稳定的短期重复性与长期稳定性,且成本低,为湿度传感的研究提供了较好的选择。 |
| 关 键 词： | 湿度传感器 声表面波 氧化石墨烯 ST-cut石英基底 |
High performance humidity sensor based on graphene oxide for ST-cut acoustic surface wave |
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