浅谈朗缪尔探针诊断系统的原理和发展

朗缪尔静电探针是对等离子体性质的诊断方法之一,是最古老和最常用的诊断方法.在扩展静电探针应用的过程中,各种静电探针的测量技术得到不断完善和发展。本文将对使用朗缪尔探针对低气压低温等离子体进行诊断的基本原理和发展前景进行初步探讨。