| 金膜表面光栅制备中飞秒激光参数的影响 |
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| 引用本文： | 高亚臣,李晓平. 金膜表面光栅制备中飞秒激光参数的影响[J]. 黑龙江大学工程学报, 2021, 12(2): 46-52. DOI: 10.13524/j.2095-008x.2021.02.023 |
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| 作者姓名： | 高亚臣 李晓平 |
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| 作者单位： | 黑龙江大学 电子工程学院, 哈尔滨 150080 |
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| 摘 要： | 为了研究飞秒激光参数对制备金膜表面光栅的影响, 设计搭建了飞秒激光干涉微加工实验装置, 经衍射光栅得到的两束相干光在金膜表面诱导出微光栅.借助原子力显微镜研究在不同的脉冲能量密度、脉冲个数、波长等条件下制备的光栅形貌, 测得光栅的周期和线宽.研究发现, 飞秒激光参数对光栅形貌的影响显著, 制备光栅的最佳波长为800 n...
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| 关 键 词： | 微纳光栅 飞秒激光 双光束干涉法 |
Effect of femtosecond laser parameters on preparation of grating on gold film surface |
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| GAO Ya-Chen,LI Xiao-Ping. Effect of femtosecond laser parameters on preparation of grating on gold film surface[J]. , 2021, 12(2): 46-52. DOI: 10.13524/j.2095-008x.2021.02.023 |
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| Authors: | GAO Ya-Chen LI Xiao-Ping |
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