接触式表面轮廓测量系统中的微恒力技术浅谈

接触式测量法在表面形貌的测量上应用广泛,具有操作简单、直观可靠且通用性等优秀特征,实际应用中效果明显。但其应用中存在一定的技术缺陷,本文就缺陷进行分析,并探究微恒力技术在改善接触式表面轮廓测量缺陷中的原理及方案选择。