纳米开关结构的力学行为研究进展

纳米开关结构是纳米机电系统以及未来纳米计算机、纳米机器人的重要控制元件,它具有体积小、重量轻、功耗低、谐振频率高、响应时间短等优点,在亚微米器件中有着潜在的应用前景。随着纳米开关结构尺寸的减小,材料最外层表面原子所占的比例大幅度增加,比表面积、比表面能也迅速增加,呈现出显著的尺寸相关性,其物理、化学、力学性能与宏观物体有所不同。本文对纳米机械开关结构的力学行为研究现状进行了评述,集中讨论了纳米机械开关的典型力学行为研究,涉及各种边界条件下纳米机械开关结构受电、机载荷作用的情况,并提出需要进一步研究的方向。