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我教授发现奇特硅纳米结构 酷似大力神杯
摘    要:中国科学院物理研究所的研究员曹则贤教授介绍,今年2月份,他和同事李超荣教授在进行应力工程的研究,用应力驱动制作各种微纳米有序结构,用于制作微电机系统、光子晶体、可折叠电子学器件等。当时他们是把硅氧化物同贵金属银共同蒸发,用来制取各种硅纳米结构,然后用电子显微镜给各个结构拍摄了照片,但由于照片比较多,当时他们并没有在意。

关 键 词:硅纳米结构  中国科学院物理研究所  大力神杯  纳米有序结构  应力驱动  微电机系统  电子显微镜  光子晶体  硅氧化物
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