我教授发现奇特硅纳米结构 酷似大力神杯 |
| |
摘 要: | 中国科学院物理研究所的研究员曹则贤教授介绍,今年2月份,他和同事李超荣教授在进行应力工程的研究,用应力驱动制作各种微纳米有序结构,用于制作微电机系统、光子晶体、可折叠电子学器件等。当时他们是把硅氧化物同贵金属银共同蒸发,用来制取各种硅纳米结构,然后用电子显微镜给各个结构拍摄了照片,但由于照片比较多,当时他们并没有在意。
|
关 键 词: | 硅纳米结构 中国科学院物理研究所 大力神杯 纳米有序结构 应力驱动 微电机系统 电子显微镜 光子晶体 硅氧化物 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|