2005年度国家技术发明二等奖复杂型腔工模具表面硬质薄膜材料制备成套设备及关键工艺技术期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

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2005年度国家技术发明二等奖复杂型腔工模具表面硬质薄膜材料制备成套设备及关键工艺技术

摘要：	该技术围绕脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)成套工业设备研制、PCVD制备硬质薄膜材料以及在工模具表面薄膜材料强化领域的关键应用等进行了系统研究,主要内容及特点如下:
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