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| 多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较 | |
| 引用本文： | 杨志国.多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较[J].科协论坛,2009(7). |
| 作者姓名： | 杨志国 |
| 作者单位： | 华陆工程科技有限责任公司,陕西·西安,710054 |
| 摘 要： | 多晶硅生产方法目前应用最广的为改良西门子法.三氯氢硅作为多晶硅还原的重要原料之一,其汽化方式以及与氢气摩尔比值直接关系产品的质量和产量.本文就目前多晶硅还愿中三氯氢硅的三种汽化方式进行介绍,并对其优缺点进行比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考. |
| 关 键 词： | 多晶硅 还原 三氯氢硅 汽化方式 摩尔比值 |
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