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| 基于WAT Analyzer软件的阈值电压计算及magic number测定 | |
| 引用本文： | 吴振华,刘鉴常,付宇卓,俞晓华.基于WAT Analyzer软件的阈值电压计算及magic number测定[J].实验室研究与探索,2009,28(9):33-35,87. |
| 作者姓名： | 吴振华 刘鉴常 付宇卓 俞晓华 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学,安泰经济与管理学院,上海,200052 2. 中芯国际集成电路有限公司,上海,201203 3. 上海交通大学微电子学院,上海,200240 |
| 摘 要： | 阈值电压是半导体晶圆测试的一个重要指标,它和半导器件参数等许多方面有紧密的联系,magic number(N)是一个基于线度计算阈值电压经验公式的关键值.基于自主研发的WAT Analyzer软件对相关实测数据处理,对比根据实测数据用跨导法计算阈值电压的结果,经统计分析提出了一个N的新值.通过实测数据进行检验,验证了N值的有效性. |
| 关 键 词： | 晶圆 阈值电压 |
Analysis of Threshold Voltage and Magic Number Based on the Software of WAT Analyzer |
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| WU Zhen-hua,LIU Jian-chang,FU Xu-zhuo,YU Xiao-hua.Analysis of Threshold Voltage and Magic Number Based on the Software of WAT Analyzer[J].Laboratory Research and Exploration,2009,28(9):33-35,87. | |
| Authors: | WU Zhen-hua LIU Jian-chang FU Xu-zhuo YU Xiao-hua |
| Abstract: | |
| Keywords: | WAT magicnumber |
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