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| 微电子技术发展方向刍议 | |
| 引用本文： | 吴孝丽,周焱.微电子技术发展方向刍议[J].内江科技,2007,28(10):120-120,190. |
| 作者姓名： | 吴孝丽 周焱 |
| 作者单位： | 平顶山工学院 |
| 摘 要： | 本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非硅材料的发展情况. |
| 关 键 词： | 微电子技术 集成电路 技术趋势 微电子技术 发展水平 方向 情况 硅材料 氮化镓 碳化硅 磷化铟 砷化镓 趋势 学科相结合 系统级芯片 工艺 |
| 修稿时间： | 2007-06-21 |
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