《半导体器件平面工艺实验》课程教学探讨

本文先介绍了半导体平面工艺的发展史,及其在重要的现实意义,然后简单叙述了本实验教学中心开设的《半导体器件平面工艺实验》的课程内容设置,对实验课课堂教学中的理论和实际教学方法进行了探讨,提出课前集中讲解和实验后答疑分析讲解相结合的实验教学方法,并引导学生以科技论文形式完成专业实验课实验报告的创新教学思路。