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| 用原子束最精细地蚀刻芯片 | |
| 引用本文： | 迪平.用原子束最精细地蚀刻芯片[J].中国科教创新导刊,1997(9). |
| 作者姓名： | 迪平 |
| 摘 要： | 用原子束最精细地蚀刻芯片随着一种“印刷”集成电路的新技术的发展，预计计算机芯片将会比今天使用的功能更加强大和奇妙得多。通常芯片是用光蚀法制造的。这种方法通过类似于制造模版的过程把线路图印到芯片上。“模版”是一个能保护下面各层的某些特定区不受到蚀刻、覆... |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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