溅射温度对BCN薄膜质量的研究

近年来,研究者们对硬质薄膜的研究越来越广泛,而BCN薄膜由于其优异的性能深的研究者的青睐,其应用的范围也是极其广泛。本文主要通过射频磁控溅射法制备BCN薄膜,在溅射功率,气体流量,工作气压保持不变的前提下改变沉积温度,通过原子力显微镜,傅里叶红外析光谱,台阶仪表征手段对薄膜进行分析。