| 双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析 |
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| 引用本文： | 赵翔,梁明富. 双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析[J]. 深圳职业技术学院学报, 2007, 6(2): 18-20 |
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| 作者姓名： | 赵翔 梁明富 |
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| 作者单位： | 扬州市职业大学,江苏,扬州,225009 |
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| 摘 要： | 由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列(FPA)是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术。通过对Al/SiNx双材料体系的理论分析,得出了微悬臂梁的热机械性能与双层梁的厚度比之间的关系。
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| 关 键 词： | 双金属微悬臂梁 热机械性能 弯曲变形 |
| 文章编号： | 1672-0318（2007）02-0018-03 |
| 修稿时间： | 2007-03-20 |
Bi-Material Microcantilever''''s Thermomechanical Performance and Materials Selection: An Analysis |
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| ZHAO Xiang,LIANG Mingfu. Bi-Material Microcantilever''''s Thermomechanical Performance and Materials Selection: An Analysis[J]. Journal of Shenzhen Polytechnic, 2007, 6(2): 18-20 |
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| Authors: | ZHAO Xiang LIANG Mingfu |
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| Affiliation: | Yangzhou Polytechnic College, Yangzhou, Jiangsu 225009, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bi-material micro-cantilever beam thermo-mechanical performance deflexion |
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