基于XPS的中和电子枪仿真实验 |
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作者单位: | ;1.电子科技大学光电科学与工程学院 |
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摘 要: | 对X射线光电子能谱仪(XPS)的中和电子枪提出了一套完整的仿真设计方案。利用计算机模拟软件Opera对XPS中和电子枪的结构进行建模,实现了电子束轨迹、阳极电流和阳极束斑尺寸的设计。模拟结果以直观的形式呈现。通过该仿真实验,学生可以深入理解XPS分析法及中和电子枪结构的基础知识和工作原理。
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关 键 词: | X射线光电子能谱仪 电子枪 电场强度 电子束轨迹 阳极束斑 |
Simulation of an Electron Gun Based on XPS |
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