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| 《薄膜物理与技术》课程教学改革的研究与实践 | |
| 作者单位： | ;1.山东大学(威海)空间科学与物理学院 |
| 摘 要： | 《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课,其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜的性质和应用等薄膜材料与薄膜技术领域的基本知识。针对《薄膜物理与技术》的内容与特点,结合自身教学体会,从完善教学内容、改进教学方法和教学手段等方面进行课程的改革与探索,切实提高教学质量。 |
| 关 键 词： | 薄膜物理与技术 教学改革 教学内容 教学方法 |
Research and Practice on Teaching Reform of Thin Film Physics and Technology |
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