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| 浅析杂质扩散原理 | |
| 引用本文： | 凌筱清.浅析杂质扩散原理[J].读与写:教育教学刊,2009,6(12):70-70. |
| 作者姓名： | 凌筱清 |
| 作者单位： | 南通广播电视大学江苏,南通,26001 |
| 摘 要： | 扩散工艺是集成电路制造工艺的重要工艺之一.集成电路工业的发展已对扩散的杂质浓度分布的准确计算提出了越来越高的要求.本文通过介绍集成电路制造中掺杂杂质扩散,包括扩散原理、扩散方程的内容,对半导体集成电路制造工艺中的扩散工艺作了分析,为进一步深造和从事半导体器件制造等工作打下坚实的基础. |
| 关 键 词： | 杂质扩散 编写程序 运行图形 扩散方法 |
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