多晶硅隔离的工艺与价值

采用简易多晶硅隔离方法制造制造集成稳压源是一种新的试验，本就试验过程中为选择外延提供多晶核心的氧化膜，单，多晶同时淀积的质量控制等问题作了重点讨论。