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| 浅谈半导体制造中的缺陷 | |
| 作者姓名： | 刘青 同小锦 |
| 作者单位： | 西安卫光科技有限公司 |
| 摘 要： | 缺陷,是各种生产制造过程中不可避免的质量问题。在半导体生产制造中,产品的设计、原材料、生产硬件、人为操作等的不合理均能导致缺陷产生。本篇将简单阐述半导体生产制造中的缺陷。 |
| 关 键 词： | 缺陷管理 缺陷监测 缺陷种类 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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