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分类号
杂志ISSN号
浅谈半导体制造中的缺陷
作者姓名:
刘青
同小锦
作者单位:
西安卫光科技有限公司
摘 要:
缺陷,是各种生产制造过程中不可避免的质量问题。在半导体生产制造中,产品的设计、原材料、生产硬件、人为操作等的不合理均能导致缺陷产生。本篇将简单阐述半导体生产制造中的缺陷。
关 键 词:
缺陷管理
缺陷监测
缺陷种类
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