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| 微机电系统（MEMS）的加工工艺 | |
| 引用本文： | 刘晓丽.微机电系统（MEMS）的加工工艺[J].黑龙江科技信息,2011(20):48+47-48,47. |
| 作者姓名： | 刘晓丽 |
| 作者单位： | 郑州市技师学院,河南,郑州,450000 |
| 摘 要： | 介绍了微机电系统的概念,和微机电系统的优点及发展前景。分别阐述了微机电系统的的加工工艺。 |
| 关 键 词： | MEMS 超精密加工 加工工艺 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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