聚焦离子束外置取出法制备SiC_p/Al透射电镜样品

SiC颗粒增强铝合金复合材料(SiC_p/Al)由于结构复杂,在结构分析工作中既需要定点取样,又需要尽可能大的观察区域以满足对各结构单元之间相互作用的研究,故透射电子显微镜(TEM)样品制备工作存在较大的困难。采用聚焦离子束(FIB)外置取出方法制备TEM样品,在真空室内切割出较大面积的薄片样品,并将其在真空室外取出,置于覆膜铜网上。由于一片覆膜铜网上可以承载多片样品,这样一次进样可以对多个区域进行观察。实验结果证实样品可观察区域足够,样品质量满足TEM要求,观察效率高,同时由于这种方法高效低成本的特点,在相近材料和一些实验量庞大的材料结构解析工作中具有可推广性。