多晶硅生产中以四氯化硅补氯方式探讨

多晶硅生产中原料和产品本身不含氯,但因过程有氯化工艺需要消耗氯,目前补氯方式主要有以液氯和三氯氢硅方式,在当地具有丰富副产四氯化硅的情况下,采用四氯化硅补氯具有较好的经济效益。