| 高性能聚焦离子束(FIB)系统及其在材料科学领域的应用 |
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| 引用本文： | 周伟敏,吴国英. 高性能聚焦离子束(FIB)系统及其在材料科学领域的应用[J]. 实验室研究与探索, 2004, 23(9): 19-20,52 |
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| 作者姓名： | 周伟敏 吴国英 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030
2. 上海交通大学,国家教育部高温材料及高温测试重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(50171042) |
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| 摘 要： | 采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面，在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下，可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀，扫描离子成像等功能。该系统有三大用途：形貌观察，分辨率高达5nm；微刻蚀以及微沉淀。本文介绍了FIB技术的应用。
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| 关 键 词： | 聚焦离子束显微镜（FIB） 透射电子显微分析（TEM） 材料科学 |
| 文章编号： | 1006-7167(2004)09-0019-03 |
High Performance Focused Ion Beam(FIB) System and Its Application in Materials Science |
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| ZHOU Wei-min,WU Guo-ying ion,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai ,China). High Performance Focused Ion Beam(FIB) System and Its Application in Materials Science[J]. Laboratory Research and Exploration, 2004, 23(9): 19-20,52 |
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| Authors: | ZHOU Wei-min WU Guo-ying ion Shanghai Jiaotong Univ. Shanghai China) |
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| Affiliation: | ZHOU Wei-min~1,WU Guo-ying~2 ion,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai 200030,China) |
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| Abstract: | Focused ion beam(FIB) system based on gallium liquid-metal ion sources is a useful tool in the research work of materials science. It has three intended uses, that is the magnified observation with the resolution ratio as high as 5nm, the micro-etching and micro-deposition. This paper presented several examples for the applications of FIB techniques. |
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| Keywords: | focused ion beam(FIB) transmission electron microscopy(TEM) materials science |
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