电弧源薄膜制备磁过滤系统电磁场模块调整的研究

电弧源薄膜制备具有高离化率、高离子能量和高沉积速率的特点,但是"大颗粒"问题严重影响着薄膜的质量。文中采用YBHИΠA-1-001型硬质镀膜机,研究分析了磁过滤系统中的偏移磁场、聚焦磁场、稳弧磁场及其相互作用。针对阴极靶材周围的电磁场的作用,本文采取大量实验观察分析,最终得到如下结论:通过偏移磁场幅值的调整,阴极靶材表面放电区域从靶材表面一侧向另一侧移动;而聚焦磁场则主要影响靶材表面放电区域的大小,稳弧磁场主要影响阴极弧斑在靶材表面运动的稳定性。