Co/C 软X射线多层膜镜的界面化学态(英文) |
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引用本文: | 白海力,姜恩永,王存达,田仁玉.Co/C 软X射线多层膜镜的界面化学态(英文)[J].天津大学学报(英文版),1998(2). |
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作者姓名: | 白海力 姜恩永 王存达 田仁玉 |
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作者单位: | 天津大学理学院 |
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摘 要: | 以X射线光电子谱(XPS)为手段,研究了制备态和退火Co/C软X射线多层膜镜的界面化学态.研究表明,在制备态的Co/C软X射线多层膜的界面处存在互扩散,并为低角X射线衍射(LAXD)所证实.基于Miedema的“宏观原子”原子模型计算了Co-C系统中Co的化学位移,发现Co的化学位移低于XPS的能量分辨率,因此使用XPS不可能通过实验探测到Co-C系统中Co的化学位移.通过分析退火样品中Co-C和C-Co界面上C的化学态,发现界面处存在金属碳化物.研究还表明,XPS是研究多层膜界面化学态直观而有效的实验方法.
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关 键 词: | 软X射线,多层膜,界面化学态,热力学性质 |
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