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| 半导体技术的一颗明珠——MOCVD技术 | |
| 作者姓名： | 马建一 |
| 摘 要： | 在现代半导体科学技术中,“MOCVD”是生长所需各种各样光、电性能材料的重要设备。“MOCVD”是金属有机物化学气相淀积的英文缩写,这种叫法最初是由美国洛克威尔公司的马纳塞维特等人,于1968年提出来的,原意是:利用有机化合物输 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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