| 类金刚石碳膜磁控溅射抗剥离结合强度的实验研究 |
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| 作者姓名： | 王德山 |
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| 作者单位： | 苏州大学,江苏苏州,215131 |
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| 基金项目： | 江苏省苏州市2012年科技计划应用基础工业研究项目“复杂工件表面溅射成膜制备技术的应用研究” |
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| 摘 要： | 在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧度、界面结合强度、硬度和厚度等性能指标良好.实验结果对比分析发现Ti/TiN/TiAlN为过渡层的DLC碳膜抗剥离附着性能好,膜层间的结合强度和致密度大幅提高,涂层的内应力明显降低,DLC碳膜的综合力学性能得到全面改善.
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| 关 键 词： | 磁控溅射镀膜 类金刚石碳膜 复杂型腔制件 抗剥离特性 结合强度 |
Experimental Research of Diamond-like Carbon Film Magnetron Sputtering Anti Stripping Bond Strength |
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| Authors: | WANG De-shan |
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