| 激光聚焦光斑形状对溅射产物角分布的影响 |
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| 引用本文： | 皇甫国庆. 激光聚焦光斑形状对溅射产物角分布的影响[J]. 渭南师范学院学报, 2003, 18(5): 14-17 |
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| 作者姓名： | 皇甫国庆 |
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| 作者单位： | 渭南师范学院,物理系,陕西,渭南,714000 |
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| 基金项目： | 渭南师范学院科研基金资助项目(01YKS014) |
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| 摘 要： | 讨论了将线形聚焦光斑看作是点溅射的线性迭加时．对衬底平面上溅射产物角分布影响的推导．推导结果间接证明了溅射产物中粒子之间有更强烈的相互作用。
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| 关 键 词： | 激光聚焦光斑 激光溅射 角分布函数 点溅射 线性迭加 脉冲激光沉积 |
| 文章编号： | 1009-5128(2003)05-0014-04 |
| 修稿时间： | 2003-04-17 |
The affect of pulsed laser deposition upon angle distribution function |
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| HUANGFU Guo qing. The affect of pulsed laser deposition upon angle distribution function[J]. Journal of Weinan Teachers College, 2003, 18(5): 14-17 |
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| Authors: | HUANGFU Guo qing |
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| Abstract: | The derivation of the angle distribution of sputtering outcome is given when the line focusing spot is looked upon the linear adding. The results have proved that there are strong interactions among the particles in sputtering outcome. |
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| Keywords: | pulsed laser deposition angle distribution function |
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