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硬质TiN薄膜与基体结合强度的研究现状
作者姓名:肖娜  杜菲菲
作者单位:1. 东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室,辽宁 沈阳,110819
2. 东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室,辽宁 沈阳,110819
摘    要:硬质Ti N薄膜在力学性能、耐腐蚀性能等诸多方面存在优势,是常用的合金表面改性材料之一。但是,长期使用过程中薄膜容易与基体脱离,关注并提高薄膜与基体之间的结合强度具有重要的现实意义。

关 键 词:TiN薄膜  结合强度  沉积  力学性能
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