硬质TiN薄膜与基体结合强度的研究现状 |
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作者姓名: | 肖娜 杜菲菲 |
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作者单位: | 1. 东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室,辽宁 沈阳,110819 2. 东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室,辽宁 沈阳,110819 |
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摘 要: | 硬质Ti N薄膜在力学性能、耐腐蚀性能等诸多方面存在优势,是常用的合金表面改性材料之一。但是,长期使用过程中薄膜容易与基体脱离,关注并提高薄膜与基体之间的结合强度具有重要的现实意义。
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关 键 词: | TiN薄膜 结合强度 沉积 力学性能 |
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