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面向21世纪的微型机电系统

摘要：	科学技术的发展使人类在探索宏观世界的同时,也在向微观世界进军。在20世纪,空间技术、生物工程、信息科学、临床医学都得到了巨大发展。这些高技术在21世纪能否保持目前的发展势头,在一定程度上取决于微型机电系统的发展。微型机电系统的研究始于20世纪60年代。自1987年美国加州大学首次
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