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| 晶体硅太阳电池沉积三层氮化硅薄膜的探索 | |
| 摘 要： | 为改善晶体硅太阳电池表面存在的问题,利用等离子增强化学气相沉积法在晶体硅上沉积的三层氮化硅薄膜,对晶体硅太阳能电池起到很好的减反射效果,明显改善了电池对入射光的吸收。将三层薄膜的连续沉积改为间断性沉积,可以使氮化硅薄膜的致密性大大提高,并极大的改善了原本工艺中出现的电池表面色差较严重的问题。 |
EXPLORATION OF THREE LAYERS OF SILICON NITRIDE FILM DEPOSITED ON CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELL |
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