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| 扩散硅压阻传感技术的研究现状与发展趋势 | |
| 引用本文： | 梁秀红,鞠玉林,等.扩散硅压阻传感技术的研究现状与发展趋势[J].河北工业大学成人教育学院学报,2000,15(2):37-38,51. |
| 作者姓名： | 梁秀红 鞠玉林 等 |
| 作者单位： | 河北工业大学!天津300130 |
| 摘 要： | 扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中，而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的，并具有优于其他传感元件的特点，本文详细论述了扩散硅压阻传感器的发展过程及我国的研究现状，并展望了其未来向即小型化，数字化，智能化，系列化发展的方向。 |
| 关 键 词： | 扩散硅 压阻传感技术 发展趋势 压阻效应原理 特点 智能代传感器 压阻传感器 |
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