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(半导体)大规模集成电路工艺流程
引用本文:
张琦,韩团军.(半导体)大规模集成电路工艺流程[J].中国科技信息,2009(21):146-147.
作者姓名:
张琦
韩团军
作者单位:
1. 陕西理工学院机械工程学院
2. 陕西理工学院电信系
摘 要:
本文以实践为基础对封装的工艺流程进行了科学的研究。详细介绍了集成电路封装工艺,对于以后的封装生产有较好的理论指导和借现意义。
关 键 词:
半导体
集成电路
封装
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