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| 跨世纪的新技术——微机械 | |
| 引用本文： | 张薇,贾智.跨世纪的新技术——微机械[J].职业技术教育,1998(8). |
| 作者姓名： | 张薇 贾智 |
| 作者单位： | 第一汽车集团公司技工学校二分校 |
| 摘 要： | 本世纪八十年代以来，大规模集成电路技术取得了惊人的发展，由此带来的信息革命已冲击到了社会的每一个角落。一些富于幻想的科学家受微电子技术的启发，设想把机械系统也集成起来，做成像集成电路一样的集成机械系统，进而把传感器、执行器、微驱动器、微处理器以及光学... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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