| 学生实验真空镀膜机的设计与制作 |
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| 引用本文： | 杨端光,任志昂. 学生实验真空镀膜机的设计与制作[J]. 实验室研究与探索, 2003, 22(5): 109-109 |
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| 作者姓名： | 杨端光 任志昂 |
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| 作者单位： | 湘潭大学,材料与光电物理学院,湖南,湘潭,411105 |
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| 摘 要： | 随着科学技术的不断发展,薄膜材料在光学、电子技术、原子物理、半导体技术、宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用,推动了薄膜制备技术的蓬勃发展,许多新型的镀膜方法与工艺也不断涌现。真空蒸发镀膜始终是一种重要而基本的薄膜制备方法。很多学校把真空镀膜技术进行了推广,要求在校的理、工科学生根据自己所学专业来了解掌握真空镀膜技术。但是现在市场上购买一台普通型真空镀膜机一般需要5万元左右,这样,经费不足,将阻碍了实验的开出。根据这一现实情况,我们设计并制作了一台筒易型真空镀膜机,仪器成本降低为2万元左右。同时,该仪器设…
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| 关 键 词： | 真空镀膜机 设计 制作 薄膜材料 实验教学 |
| 文章编号： | 1006-7167(2003)05-0109-01 |
| 修稿时间： | 2003-03-20 |
The Design and Manufacture of Experimental Vacuum Coating Equipment |
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