微电子工艺课程中TCAD技术应用的教学探讨

本文主要指出了在微电子工艺技术发展日新月异的形势下,在高校微电子工艺课程的教学中引入TCAD技术进行辅助教学的必要性,探讨了在微电子工艺的理论和实验教学中TCAD技术应用的方法和措施,从而提高专业教学质量、提高学生的实际工作能力和专业素质,适应当今社会对人才培养的需求。