四点共线探针测试电路在高电阻率半导体测量中的应用

本文针对电阻率测量中广为应用的四点共线探针测量电路,进行了原理及结构分析,给出了恒流源电路设计。同时,说明在高阻测量过程中,SMU电路配置,实际项目生成,以及在高阻测量设备中的应用特点等问题。