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在科学的道路上砥砺前行——记著名微电子专家徐秋霞
作者姓名:杨洁  苏丹
作者单位:《科学中国人》记者
摘    要:背景:微电子技术问世以来,一直以惊人的速度发展。微电子技术的核心━CMOS技术已成为现代电子产品中的支撑技术,这也使得微电子技术成为整个信息产业的基础,是衡量一个国家综合国力与经济发达水平的一个重要标志。平面CMOS技术遵循等比例缩小的原则,其特征尺寸从20世纪50年代初期的约125微米进化到现在的65纳米,

关 键 词:微电子技术  专家  道路  科学  CMOS技术  支撑技术  电子产品  信息产业
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