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钴硅化物的X光研究
引用本文:黄晖,张世表.钴硅化物的X光研究[J].蒙自师范高等专科学校学报,1990(4).
作者姓名:黄晖  张世表
作者单位:蒙自师专物理系 (黄晖),南开大学物理系(张世表)
摘    要:本文采用READx光相机照像的方法,对部分不同退火温度和退火时间的Co/si系薄膜样品进行了x射线衍射分析,对目前尚有争议的一些问题给出了部分实验结果和结论。并对Co/si薄膜反应中出现的织构情况,我们通过对READx光相机加入新的照像方法,方便地定出了一些钴硅化物织构情况。

关 键 词:钴硅化物  x-ray衍射

ANALYSIS ON COBALT SILICON THIN FILM INTERACTION BY X RAY DIFFRACTION
Huang Hui.ANALYSIS ON COBALT SILICON THIN FILM INTERACTION BY X RAY DIFFRACTION[J].Journal of Mengzi Teachers' College,1990(4).
Authors:Huang Hui
Abstract:Some experimental data and conclusions on cobalt-silicon thin film interaction at different tempertures were given.A new experimental way-Rotating X-Ray READ Camera-was put forward and it made easy to get some information about cobalt silide' s epitaxy.
Keywords:Cobalt-silicon thin film interaction x-Ray diffrac-tion  
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