建模求解MEMS反射镜静电斥力致动器指端距离

微静电斥力致动器[1]由固定指端和移动指端组成,由于两层指端的边界结构复杂,建立的分析模型也非常复杂。本文建立了静电斥力致动器的解析模型,该模型给出了致动器中产生的排斥力的估计值,并推出可以实现的最大平面位移。并用数值模拟验证了分析模型。对MEMS指端参数的设计具有指导意义。