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| 硅MEMS加速度传感器教学实验平台构建 | |
| 作者单位： | ;1.北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 |
| 摘 要： | 基于硅MEMS(micro-electromechanical systems)加速度传感器体积小(微米量级)、工作原理较抽象、课堂教学接受较困难等问题,构建了硅MEMS加速度传感器教学实验平台。该实验平台主要由加速度信号发生装置、高性能石英振梁加速度传感器、MEMS加速度传感器芯片、A/D转换电路、单片机数据采集及处理电路、液晶显示装置等组成。加速度信号发生装置提供不同的加速度信号。高性能石英振梁加速度传感器用于对MEMS加速度传感器的测试结果进行比对。测试结果表明,该实验平台性能良好,能够满足实验要求。该实验平台不但强化了对学生动手能力的培养,体现了实验教学与课堂教学的结合,也为传感器技术及应用、误差理论与数据处理等课程提供了重要支持。 |
| 关 键 词： | 实验平台 MEMS加速度传感器 数据采集 |
Construction of teaching experimental platform for silicon MEMS acceleration sensor |
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